超純水機是在純水機上的升華，即超純水是在純水的基礎上進一步將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm極限值。在現代化的工業生產過程中有著非常重要的生產意義，尤其是在環保意識逐漸強化的當下市場環境下，對于水資源的保護力度不斷的增強，有效的推動了超純水處理設備的普及。
實驗室超純水機的源水通過原水泵進入預處理系統，經過三通預處理、鹽箱、精密過濾器后經過石英砂、活性炭、KDF軟化以及PP棉等多個過濾器，能去掉水中的機械雜質，去掉水中的膠體、大分子有機物、余氯、異味預處理系統進行可以得到Ⅲ級水。
Ⅲ級水通過高壓泵進入反滲透系統中在高壓泵的作用下，利用反滲透膜的半通透性，在一定程度上將水中各種金屬離子、細菌、病毒、殘留有機物、膠體等截留在膜外，通過濃水管道將這部分水排出，反滲透膜的去除率可達到99%。可以獲得Ⅱ級水。
經過反滲透膜后的水進入離子交換樹脂罐內，由于深層離子交換反應的進行，能夠*的將水中陰陽離子置換出來，經過離子交換樹脂后的水可以達到18.2兆歐左右的超純水，可以獲得Ⅰ級水。
同時根據國家實驗室用水標準超純水也就是Ⅰ級水中不含溶解或者膠體離子雜質和有機物，同時也不含人體所需要的礦物質、微量元素，長時間飲用實驗室超純水可能會出現免疫力缺陷、抵抗力下降現象。
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